使用步骤(类似二维材料转移)
(1) 转移:利用转移平台将可转移金属电极对准及堆叠到目标衬底(样品)上;
(2) 粘附:加热到150℃并维持5-10分钟,使黏附层和电极与目标衬底贴合;
(3) 剥离:150℃时抬起贴有电极的玻璃片,用镊子将贴合在目标衬底上的PDMS剥离;
(4) 去胶:丙酮中浸泡5分钟去除黏附层,也可保留黏附层作封装层。
备注:转移完成后适当退火能减小器件接触电阻
相关参数
电极线宽 | ≥ 3 μm |
沟道尺寸 | ≥ 2 μm |
电极尺寸 | μm ~ mm |
电极形状 | 形状可定制(叉指电极,霍尔电极,微纳天线等) |
金属种类 | Au/Ag/Pd/Sb等 |
适用衬底 | 光滑硬质衬底,如硅片、蓝宝石、金刚石等 |